Модель продукта: ACP320
Материал изделия: высокоточная гранитная конструкция
Точность измерения: MPE(Exy)≤(2,5+L/200)мкм; MPE(Ez)≤(5,0+L/200)мкм
Точность повторяемости: 2 мкм
Увеличение: 34X-220X
Поле зрения: 7,2-1,1 мм
Рабочее расстояние: 96 мм
Разрешение линейки решетки: 0,2 мкм
Размеры изделия: 980X650X1720 мм