Описание продукта:

Контроллеры расхода в полупроводниковом производстве являются ключевыми компонентами, предназначенными для точного управления потоком газа или жидкости. Их точность напрямую влияет на стабильность технологических процессов изготовления полупроводников, таких как осаждение тонких пленок, травление, очистка, и, следовательно, на выход годных изделий.

Серия QK1 представляет собой высокопроизводительные контроллеры расхода с замкнутым контуром управления, разработанные для работы с различными высокочистыми жидкостями, включая очищенную воду, химические растворы и суспензии для химико-механической полировки. Каждый модуль контроллера состоит из двух основных компонентов: измерительной трубки и регулирующего клапана расхода. Во время работы пользователь задает «уставку» расхода через аналоговый сигнал. Электронная система модуля управления постоянно сравнивает эту уставку с фактически измеренным расходом и генерирует непрерывный сигнал для корректировки положения регулирующего клапана, чтобы поддерживать заданное значение. Серия QK1 использует передовые алгоритмы управления в сочетании с высокоскоростными/прецизионными пьезоэлектрическими клапанами, что в значительной степени исключает такие явления, как перерегулирование, недокомпенсация и колебания.