ESC (Электростатический Патрон)

ESC является компонентом источника травления, используемым в полупроводниковом оборудовании, для контроля и подачи необходимых газов и энергии в процессе травления, использующий силу электростатики для фиксации пластин в оборудовании для производства полупроводников. Обычно ESC классифицируется на монополярный и биполярный тип в зависимости от количества электродов, а также на кулоновский и тип Джонсена-Рабека в зависимости от величины удельного сопротивления диэлектрика. Используемые процессы включают травление, CVD, имплантацию и другие.

ESC новые изделия: относятся к совершенно новым изготовленным компонентам ESC. Эти новые продукты обладают новейшими технологиями проектирования и производства, могут обеспечить высокую производительность и надежность.

ESC услуги по восстановлению: относятся к услугам по ремонту, техническому обслуживанию и усовершенствованию уже использовавшихся компонентов ESC. В процессе восстановления старые компоненты ESC могут проходить этапы очистки, замены деталей, восстановления покрытий и другие для восстановления их производительности и функциональности.

ESC новые изделия и услуги по восстановлению направлены на удовлетворение потребностей полупроводниковой отрасли в компонентах источников травления. Новые изделия предоставляют новейшие технологии и производительность, подходят для нового оборудования или систем, требующих модернизации. В то время как услуги по восстановлению предоставляют экономически эффективный выбор для технического обслуживания и усовершенствования использовавшегося оборудования, продлевая его срок службы и повышая стабильность производительности.