Функциональность оборудования:

Разработка и производство оборудования для очистки компонентов в соответствии с требованиями заказчика, включая ручные и автоматизированные установки. Предназначено для очистки деталей полупроводникового оборудования, приспособлений, корзин, кварцевых изделий, кварцевых печных труб, керамических компонентов и т.д.

Характеристики и спецификации:

Спецификация компонентов: Очистка стандартных или индивидуальных запасных частей.

Технологические возможности: Адаптация под процессы очистки органическими веществами, щелочами и кислотами.

Автоматизация: Полуавтоматические или полностью автоматические системы.

FFU (опционально): Оборудование может быть оснащено вентиляционными модулями с фильтрами для создания чистоты класса CLASS 100.

Опциональные клапаны: Возможность комплектации клапанами CKD, Gemu, Kitz, SMC, SEBA и других производителей.

Опциональные сенсорные панели: Возможность установки панелей управления Proface, Mitsubishi, Siemens, Omron и других производителей.

Надежность системы:

Время безотказной работы (Uptime) ≥ 98%

Среднее время между отказами (MTBF) > 500 часов

Среднее время между аварийными простоями (MTBA) > 4 часов

Среднее время восстановления (MTTR) < 4 часов