Функциональность оборудования

Оборудование для очистки FOUP играет ключевую роль в обеспечении чистоты пластин и повышении выхода годных продуктов в полупроводниковом производстве. Удаляя частицы, химические загрязнения и примеси с поверхностей FOUP, оно гарантирует, что эти очищенные компоненты не станут источником загрязнения пластин в процессе их транспортировки и хранения.

Особенности оборудования

Совместимые размеры очищаемых компонентов:
Кассеты и коробки для кассет: от 5 до 9 дюймов.
Контейнеры для фотошаблонов: от 5 до 9 дюймов.
Контейнеры или кассеты нестандартных размеров по запросу.

Уровень чистоты после очистки:Эффективность удаления частиц размером до 0.1 мкм достигает 99.99 процентов.
Уровень ионов металлов менее 5E+10 атомов на квадратный сантиметр.

Производительность очистки

6-дюймовые кассеты и коробки для кассет.

8-дюймовые кассеты и коробки для кассет.

12-дюймовые контейнеры FOUP и FOSB.

Рабочий процесс

Размещение очищаемых компонентов таких как FOUP, кассеты, контейнеры для фотошаблонов на специальной оснастке.

Запуск программы очистки.

Этап мойки: Вращение в рабочей камере в сочетании со струйной промывкой под высоким давлением.

Этап сушки: Вращение в рабочей камере в сочетании с обработкой горячим азотом и инфракрасным излучением.

Общее время цикла: Весь процесс очистки и сушки занимает до 45 минут и может быть оптимизирован.

Оснастка по индивидуальному заказу

Стойки и фиксаторы для 6-дюймовых компонентов.

Стойки и фиксаторы для 8-дюймовых компонентов.

Стойки и фиксаторы для 12-дюймовых компонентов.

Стойки и фиксаторы нестандартных размеров по индивидуальному заказу.