Функциональность оборудования:

Передние этапы производства: очистка по методу RCA, мокрое удаление фоторезиста, мокрое травление диэлектрических слоев, мокрое травление металлических слоев, предварительная очистка перед печными процессами и другие.
Заключительные этапы производства: травление металлических и неметаллических подложек на уровне пластин. Металлические слои включают титан, нитрид титана, вольфраминитрид титана, медь, золото. Неметаллические включают стекло диоксида кремния и другие.

Характеристики оборудования:

Поддержка широкого диапазона размеров обрабатываемых компонентов.
Полный цикл проектирование, производство, тестирование выполняется на заводе-изготовителе.
Собственное программное обеспечение верхнего уровня с поддержкой интеграции в системы EAP и MES.
Поддержка технологий обработки с кассетами и без кассет.
Поддержка параллельной обработки нескольких задач.
Модульная конструкция для удобства обслуживания.
Соответствие стандартам SEMI S2, SEMI S8 и CE.

Типы оборудования:

Сухой вход мокрый выход в комбинации с двухкамерной центрифугой собственного производства для сушки.
Сухой вход сухой выход в комбинации с горизонтальной центрифугой или системой сушки по методу Марангони собственного производства.
Полностью автоматическая функция переворота пластин, совместимость с пластинами 8 и 12 дюймов.
Оборудование для мокрой обработки по индивидуальному заказу.

Технические параметры процесса:

Обработка круглых пластин от 4 до 12 дюймов и квадратных подложек. Поддерживаемые загрузки 13, 25, 50 штук за цикл или индивидуальное количество по запросу.
Функциональные модули рециркуляция, фильтрация, нагрев, измерение концентрации, измерение pH, охлаждение, качание, сушка, очистка и другие.
Показатели по удалению частиц менее или равно 30 штук для частиц размером от 0.16 микрометров.
Показатели по удалению металлов менее 1E10 атомов на квадратный сантиметр.

Автоматизация:

Ручная установка мокрой обработки без манипулятора.
Полуавтоматическая установка мокрой обработки с манипулятором верхнего монтажа и вращательным приводом.
Автоматическая установка мокрой обработки с горизонтальным манипулятором. Полностью автоматические версии оснащаются модулем фронтального окончания и системой верхнего транспорта.