Основные сценарии применения
1. Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность (основная область): Используется для термического окисления кремниевых пластин для получения изоляционных слоев SiO₂, выращивания слоев затворного оксида для полупроводниковых устройств и проведения очистки поверхности путем окисления перед металлизацией, обеспечивая изоляционные характеристики и надежность устройств, а также соответствие требованиям точного контроля температуры 1200℃+.
2. Солнечная фотоэнергетика: Проводит окислительную обработку поверхности и пассивацию кремниевых фотоэлектрических элементов для получения антиотражающих оксидных пленок, повышая эффективность поглощения света и время жизни носителей заряда; также используется для окислительной обработки и защиты от коррозии металлических каркасов фотоэлектрических модулей, повышая устойчивость к воздействию погодных условий на открытом воздухе.
3. Металлообработка и прецизионное производство: Проводит анодирование/высокотемпературное оксидирование нержавеющей стали, алюминиевых сплавов и т. д. для получения износостойких и коррозионностойких оксидных пленок; используется для модификации поверхности прецизионных механических деталей путем оксидирования, повышения твердости и износостойкости, удовлетворяя потребности в обработке прецизионных приборов и компонентов аэрокосмической отрасли.
4. Обработка керамики и стекла: Используется для предварительного оксидирования и обезжиривания керамических заготовок, а также оксидирования и полировки стеклянных поверхностей; подготовка функциональных керамических оксидных слоев для оптимизации диэлектрической и теплопроводности керамических материалов, адаптируясь к массовому производству электронной керамики и специального стекла.
5. Научные исследования и разработка новых материалов: Университеты и научно-исследовательские институты проводят исследования по оптимизации процесса оксидирования (контроль параметров атмосферы, температуры и времени) для поддержки исследований и разработок в передовых областях, таких как новые полупроводниковые материалы, функциональные оксидные пленочные материалы и высокотемпературные металлокомпозитные материалы.