Государственный стандарт: GB/T 620-2011
| Наименование показателя |
Высшая чистота |
Чистый для анализа |
Химически чистый |
| Содержание (HF), массовая доля % ≥ |
40.0 |
40.0 |
40.0 |
| Прокаленный остаток (в пересчете на сульфаты), массовая доля % ≤ |
0.001 |
0.002 |
0.01 |
| Хлориды (Cl), массовая доля % ≤ |
0.0005 |
0.001 |
0.005 |
| Сульфаты и сульфиты (в пересчете на SO₄), массовая доля % ≤ |
0.001 |
0.002 |
0.005 |
| Фосфаты (PO₄), массовая доля % ≤ |
0.0001 |
0.0002 |
0.0005 |
| Фторсиликаты (SiF₆), массовая доля % ≤ |
0.02 |
0.04 |
0.06 |
| Железо (Fe), массовая доля % ≤ |
0.00005 |
0.0001 |
0.0005 |
| Тяжелые металлы (в пересчете на Pb), массовая доля % ≤ |
0.0001 |
0.0005 |
0.001 |
Применение:
В основном используется в качестве очищающего и травильного агента в фотоэлектрической промышленности (производство солнечных элементов), производстве интегральных схем (изготовление чипов ИС и СБИС) и травлении стекла (производство ЖК-дисплеев), являясь одним из ключевых вспомогательных материалов. В фотоэлектрической промышленности применяется для очистки и травления поверхности кремниевых пластин; в производстве интегральных схем и СБИС — для очистки поверхности кремниевых пластин, очистки и травления в процессе обработки чипов; в травлении стекла — для очистки стеклянных подложек ЖК-дисплеев, травления нитрида кремния и диоксида кремния и т.д. Сверхчистая высокочистая плавиковая кислота является сильным кислотным очищающим и травильным агентом, может использоваться в комбинации с азотной кислотой, ледяной уксусной кислотой, перекисью водорода, гидроксидом аммония, фторидом аммония и др., а также применяться в качестве аналитического реагента и для получения высокочистых фторсодержащих химических продуктов.
Неотложная помощь:
Кожный контакт: немедленно снять загрязненную одежду, обильно промыть проточной водой не менее 15 минут, обратиться за медицинской помощью.
Контакт с глазами: немедленно приподнять веко, тщательно промыть глаза большим количеством проточной воды или физиологического раствора не менее 15 минут, обратиться к врачу.
Вдыхание: немедленно покинуть место загрязнения, выйти на свежий воздух. Обеспечить проходимость дыхательных путей. При затруднении дыхания — обеспечить подачу кислорода, при остановке дыхания — немедленно начать искусственное дыхание, обратиться за медицинской помощью.
Попадание внутрь: прополоскать рот водой, выпить молоко или яичный белок, обратиться за медицинской помощью.