2. Основные технические параметры импульсного ВЧ-источника питания для ионного азотирования
◆ Частота импульсов: 20 000 Гц
◆ Форма выходного импульсного напряжения: прямоугольная (меандр)
◆ Выходное импульсное напряжение: плавно регулируемое в диапазоне 0–800 В; ◆ промышленный трансформатор не используется.
◆ Коэффициент заполнения импульсов (скважность): плавно регулируемый в диапазоне 5–85%
◆ Максимальный средний выходной импульсный ток: 50 А
◆ Время гашения дуги: < 2 мкс (микросекунд)
◆ Точность контроля температуры: ±1 °C
◆ Точность контроля давления: ±1 Па
◆ Подача газа: NH₃: 0–3,0 л/мин
◆ Точность контроля расхода газа: ±0,5%