1. Классическая конструкция рабочей камеры
Колоколообразная камера: Сердцем установки является цилиндрическая (или сужающаяся кверху, колоколообразная) вакуумная камера («колокол»), которая опускается и поднимается. Она устанавливается на базовый поддон печи, где находятся катодная плита (стол для деталей) и уплотнительное кольцо. Крышка камеры («сферическая головка»), как правило, жестко закреплена или составляет одно целое с корпусом.
2. Нагрев исключительно тлеющим разрядом
Нагрев деталей внутри камеры осуществляется полностью за счет тепловой энергии, выделяемой при тлеющем разряде между катодом (деталями) и анодом (стенками камеры). Дополнительных резистивных нагревателей нет.
Нагрев от комнатной температуры до рабочей (обычно 450–600 °C) занимает больше времени, так как эффективность тлеющего разряда при низких температурах и относительно низком вакууме снижена, а также повышается риск возникновения дуговых разрядов.