Основные области применения
1. Производство полупроводников:
Кристаллические лодочки, лопасти, направляющие: используются в печах для быстрой термообработки, где критически важны высокая чистота, высокая термостойкость и стойкость к тепловым ударам.
Электростатические зажимные патроны: используются в оборудовании для плазменного травления и химического осаждения из газовой фазы.
2. Фотоэлектрическая энергетика:
Нагреватели, теплоизоляционные пластины и тигли для печей для литья слитков поликристаллического кремния.
3. Высокопроизводительное промышленное оборудование:
Уплотнительные кольца и подшипники: используются в механических уплотнениях и высокоскоростных подшипниках в тяжелых условиях эксплуатации, со сроком службы, значительно превышающим срок службы твердого сплава.
Пескоструйные сопла: исключительно высокая износостойкость.
4. Аэрокосмическая и оборонная промышленность:
Сопла ракетных двигателей, лопатки газовых турбин, легкие броневые материалы.