Конструктивные особенности рабочей камеры ионного азотирующего агрегата с горячими стенками в первую очередь связаны с его методом нагрева и системой контроля температуры, что кардинально отличает его от конструкции с холодными стенками.

Ключевые конструктивные особенности

1. Кольцевой внутренний нагревательный блок: Внутреннее пространство камеры формирует кольцевую зону нагрева, состоящую как минимум из трех соосных внутренних стенок. Катодный стол и обрабатываемые детали располагаются внутри этой зоны. Резистивные нагревательные элементы размещены с внешней стороны внутренних стенок. Их нагрев, действуя как вспомогательный к катодному разряду, уменьшает перепад температуры на деталях и существенно повышает равномерность нагрева.

2. Теплоизоляционная конструкция: Конструкция с горячими стенками, благодаря слою термоизоляции и вспомогательной системе нагрева, обеспечивает равномерный нагрев всей вакуумной камеры (включая её стенки) до рабочей температуры, что оптимизирует распределение температурного поля.

3. Контроль температуры: Установка оборудована несколькими датчиками-термопарами для постоянного мониторинга температуры в различных зонах. В сочетании с системой управления это обеспечивает работу по замкнутому циклу, гарантируя стабильность технологического процесса.